石墨舟的工作原理是什么
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發(fā)布時(shí)間：2022-02-16 10:34:36
石墨舟工作原理：
空氣通過(guò)高效過(guò)濾后，阻尼層均壓，使?jié)崈舻目諝鈿饬鞔怪眴蜗蛩腿胙b片工作區(qū)，從而保證了工作區(qū)內(nèi)達(dá)到工藝要求的潔凈度，操作人員在潔凈的環(huán)境中往石墨舟上裝硅片。
石墨舟主要特點(diǎn)：
1、能準(zhǔn)確的使石墨舟承載裝片車(chē)定位；
2、PECVD承載車(chē)在里面可傾斜15度或旋轉(zhuǎn)180度；
3、采用不銹鋼制造，整機(jī)結(jié)構(gòu)堅(jiān)固可靠;
4、凈化風(fēng)機(jī)噪音小于50dB。
5、采用GK系列高效空氣過(guò)濾器3只；
6、保證了工作區(qū)內(nèi)達(dá)到工藝要求的潔凈度100級(jí)。
石墨舟裝片房：用于太陽(yáng)能行業(yè)與PECVD承載車(chē)配套、裝取硅片、配制中效及高效過(guò)濾器，確保吹出的空氣達(dá)到凈化要求。